产品概述:
DFS4000是采用的微机电系统流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）。
DFS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
DFS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围到50SLPM；可用于设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等
产品特点:
- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计；
- 支持多种连接方式，易于安装与使用；
- 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量；
- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高；
- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压；
- 零点稳定度高；
- 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性；
- 低功耗、低压损；
- 响应速度快；
产品技术参数:
| 性能参数 | DFS4003 | DFS4008 | 单位 | |
| 通 径 | 3 | 8 | mm | |
| 流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM | |
| 量程比 | 100:1 | |||
| 精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | ||
| 重复性 | 0.75 | % | ||
| 零点输出飘移 | ±30 | mV | ||
| 输出飘移 | 0.12 | %/oC | ||
| 响应时间 | 100 | ms | ||
| 工作电源 | 8~18Vdc,100mA |
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| 输出方式 | 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc |
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| 流量压损 | 100 | 600 | pa | |
| 工作压力 | 0.5 | MPa | ||
| 工作温度 | -10 ~ +55 | oC | ||
| 存储温度 | -20 ~ +65 | oC | ||
| 工作湿度 | <95%RH（无结冰、无凝露） |
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| 机械接口 | BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头 | |||
| 校准方式 | 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa | |||
| 重量 | 57（带R1/4,BSPT1/4接口） | g | ||